Konversionsuntersuchungen für laserbasierte Quellen mit Jet-Target im EUV-Bereich in Abhängigkeit von relevanten Laserparametern
Laufzeit: 01.02.2000 - 31.01.2001
Partner: Max-Born-Institut Berlin
Kurzfassung
Ziel des Projekts ist die Charakterisierung und Optimierung der Emission laserinduzierter Plasmaquellen im Bereich der EUV-Strahlung.
