Eigenspannungsoptimierte dünne Schichten und Randschichten
Laufzeit: 01.09.2005 - 27.11.2007
Partner: Forschungsschwerpunkt IMS der FH KL, Firma Wolf Beschichtungstechnologie GmbH, Bruchmühlbach / Pfalz, Firma Micromotion GmbH Mainz
Förderkennzeichen: 15212-52 170-1/40 (19)
Förderung durch: MBWJK RLP
Projektmittel (€): 155000
Kurzfassung
Leitprojekt 2 im Hochschulprogramm "Wissen schaft Zukunft" und des im Jahr 2005 unter externer Begutachtung neu gegründeten Forschungsschwerpunktes "Integrierte Miniaturisierte Systeme" ("IMS"). Ziel ist die Vorbereitung weiterer Forschungsprojekte.
