Kurzfassung

Es werden analytische Verfahren zur Ultraspurenbestimmung von Elementen in High-Tech-Materialien entwickelt, die u.a. bei der Produktion mikroelektronischer Bauteile verwendet werden. Als Routinemethode wird hier die induktiv gekoppelte Plasma-Massenspektrometrie in Verbindung mit der Isotopenverdünnungstechnik eingesetzt.