Micro-Structuring of Thin ITO Layers under LIBS Process Control
Proceedings 6th Euro-Mediterranean Symposium on Laser-Induced Breakdown Spectroscopy. Bd. EMSLIBS 2011. Izmir, Turkey. 2011 S. 187
Erscheinungsjahr: 2011
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz (Konferenzbeitrag)
Sprache: Englisch
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Autoren
Silbernagel, Christian (Beteiligte Person)
Bahles, Sebastian (Beteiligte Person)
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
DDC Sachgruppe:
Physik
