Spektroskopische Online-Prozesskontrolle bei der Mikrostrukturierung dünner ITO-Schichten
Kurzfassung der Beiträge / IEEE Workshop Industrielle Messtechnik. Mülheim an der Ruhr: HRW 2012 S. 17
Erscheinungsjahr: 2012
ISBN/ISSN: 978-3-9814801-1-5
Publikationstyp: Buchbeitrag (Konferenzbeitrag)
Sprache: Deutsch
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Inhaltszusammenfassung
20. April 2012: IM Chapter, IEEE, Germany Section ; HRW, Hochschule Ruhr West, Institut Mess- und Sensortechnik (Vortragsreihe an der Hochschule Ruhr West ; 1)
Autoren
Beresko, Christian (Beteiligte Person)
Silbernagel, Christian (Beteiligte Person)
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
