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Feasibility of transmission x-ray microscopy at 4 keV with spatial resolutions below 150 nm

Applied Physics Letters. Bd. 75. H. 26. Melville, NY: American Institute of Physics 1999 4061

Erscheinungsjahr: 1999

ISBN/ISSN: 1520-8842

Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz

Sprache: Englisch

Doi/URN: dx.doi.org/10.1063/1.125536

Volltext über DOI/URN

GeprüftBibliothek

Autoren


Kaulich, Burkhard (Autor)
Oestreich, Sebastian (Autor)
Salome, M. (Autor)
Barrett, Ray (Autor)
Susini, Jean (Autor)
Di Fabrizio, Enzo Mario (Autor)
Gentili, Massimo (Autor)
Charalabous, P. (Autor)

Klassifikation


DFG Fachgebiet:
Produktionstechnik

DDC Sachgruppe:
Physik

Verknüpfte Personen