Fabrication of Fresnel zone plates by ion-beam lithography and application as objective lenses in extreme ultraviolet microscopy at 13 nm wavelength
Optics Letters. Bd. 37. H. 24. Washington, DC: Soc. 2012 S. 5100 - 5102
Erscheinungsjahr: 2012
ISBN/ISSN: 1539-4794
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz (Elektronische Ressource)
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1364/OL.37.005100
Geprüft | Bibliothek |
Autoren
Overbuschmann, Johannes (Autor)
Hengster, Julia (Autor)
Irsen, Stephan (Autor)
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
DDC Sachgruppe:
Physik