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Fabrication of Fresnel zone plates by ion-beam lithography and application as objective lenses in extreme ultraviolet microscopy at 13 nm wavelength

Optics Letters. Bd. 37. H. 24. Washington, DC: Soc. 2012 S. 5100 - 5102

Erscheinungsjahr: 2012

ISBN/ISSN: 1539-4794

Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz (Elektronische Ressource)

Sprache: Englisch

Doi/URN: 10.1364/OL.37.005100

Volltext über DOI/URN

GeprüftBibliothek

Autoren


Overbuschmann, Johannes (Autor)
Hengster, Julia (Autor)
Irsen, Stephan (Autor)

Klassifikation


DFG Fachgebiet:
Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen

DDC Sachgruppe:
Physik

Verknüpfte Personen