Scaling-up a liquid water jet laser plasma source to high average power for Extreme Ultraviolet Lithography
Proceedings of SPIE : Emerging Lithographic Technologies V. Bd. 4343. Bellingham, Wash.: SPIE 2001 S. 535 - 542
Erscheinungsjahr: 2001
ISBN/ISSN: 0277-786X
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1117/12.436685
| Geprüft | Bibliothek |
Autoren
Vogt, Ulrich (Autor)
Stiel, Holger (Autor)
Will, Ingo (Autor)
Wieland, Marek (Autor)
Nickles, Peter V. (Autor)
Sandner, Wolfgang (Autor)
Klassifikation
DDC Sachgruppe:
Physik
