Optimization models for semiconductor dopant profiling
Carlo Cercignani; Ester Gabetta (Hrsg). Transport Phenomena and Kinetic Theory: Applications to Gases, Semiconductors, Photons, and Biological Systems. Boston, MA: Birkhäuser 2007 S. 91 - 115
Erscheinungsjahr: 2007
ISBN/ISSN: 978-0-8176-4489-5
Publikationstyp: Buchbeitrag
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1007/978-0-8176-4554-0_5
| Geprüft | Bibliothek |
Autoren
Burger, Martin (Autor)
Hinze, Michael (Autor)
Pinnau, René (Autor)
