Surface morphology and grain analysis of successively industrially grown amorphous hydrogenated carbon films (a-C:H) on silicon
Applied Surface Science. Bd. 347. Amsterdam: Elsevier 2015 S. 657 - 667
Erscheinungsjahr: 2015
ISBN/ISSN: 0169-4332
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1016/j.apsusc.2015.04.113
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Inhaltszusammenfassung
Autoren
Catena, Alberto (Autor)
McJunkin, Thomas (Autor)
Agnello, Simonpietro (Autor)
Gelardi, Franco M. (Autor)
