Combining nanoimprint lithography, electroplating and microstructuring techniques to fabricate 3D nanostructured multielectrode arrays for biological applications
VDE /7.GMM Workshop Mikro-Nano-Integration. Dortmund. 2018
Erscheinungsjahr: 2018
Publikationstyp: Diverses (Konferenzbeitrag)
Sprache: Englisch
Autoren
Decker, D. (Autor)
Ingebrandt, S. (Autor)
Klassifikation
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
